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行动元纳米级精密伺服驱动应用

发布时间:2026/6/15 12:57:34   阅读:

随着AI的火爆发展需求,在光通讯,芯片前后段等相关工艺都爆发了大量的精密装备需求。在需求火爆的光通讯行业,不仅要高速的生产效率,更需要非常高的控制精度,每一纳米的对准精度,都直接决定光纤耦合与芯片封装的良率。



应对相应的需求场景,我司近期推出的UF-x48xxx-AP系列伺服驱动器,在多个客户的测试和实际验证中,全面高效的满足了客户对精度、速度、易用性与空间极致体积的综合需求,有利支撑了客户精密设备的开发和生产要求。


产品速览:

  • 供电电压:24-48 VDC

  • 输出电流:2-4 Arms

  • 反馈接口:正余弦编码器、数字霍尔、Hiperface编码器

  • 控制接口:EtherCAT 或 脉冲方向

  • I/O资源:2 DI,4 HI,4 DO,1路12位模拟量输入

  • 电流控制精度:16位

  • 安全功能:支持STO(安全扭矩关断)选配,支持再生泄放功能

  • 外形尺寸:70mm*50mm*23.3mm (长*宽*高)(不含外壳)

  • 控制频率:20KHz


产品方案实际展现:

一、纳米级定位精度,稳定可靠

  • 高分辨率支持:支持1Vpp标准模拟量正余弦编码器输入,通过高性能硬件解析与细分算法,轻松实现极高的位置分辨率。在客户实际应用中,以栅距20um正余弦编码器为例,16位细分下脉冲精度达0.3nm。

  • 卓越的稳态性能:优异的电流控制精度与算法能力,确保了极低的位控抖动。实测使用案例静态抖动精度为±30nm,重复定位精度±70nm。



    二、高动态响应,效率倍增

    • 速度无瓶颈:突破传统高精度驱动器速度受限的桎梏。在保证纳米级精度的前提下,速度可达300mm/s显著提升设备节拍与生产效率。

    • 快速整定:优化的控制算法大幅缩短了定位整定时间,助力设备实现快速、精准的位姿对准,提升产能。

    • 运行2.5mm/step,整定至50mm,重复定位精度±70nm

    • 运行30mm,0.1mm/s运行速度,全程最大跟随误差±12.6nm

    • 数据来源于激光干涉仪测量。



三、紧凑型结构

产品尺寸仅为 70mm*50mm*23.3mm (长*宽*高)极致紧凑的积为设备内部节省了宝贵空间,尤其适合多轴集成与小型化设备设计。


双通讯接口,灵活适配

  • UF-E48xxx-AP:集成EtherCAT工业以太网总线接口,支持高速、实时的多轴同步控制,适用于对系统协同和实时性要求极高的自动化产线。

  • UF-P48xxx-AP:提供经典的脉冲/方向接口,兼容市面上绝大多数PLC与运动控制器,升级改造现有设备更加方便。


典型应用场景

  • 光通讯器件耦合:用于光纤阵列(FAU)、光引擎(OE)等的光路对准与耦合,实现高精度、高良率的封装。

  • 半导体封装与检测:适用于晶圆级封装、芯片贴装、高精度点胶以及晶圆缺陷检测平台的精密定位。

  • 精密光学加工与检测:激光加工、显微成像、光谱分析等设备中,负责样品台或光学元件的纳米级微动。

  • 生物医疗设备:基因测序仪、细胞操作仪等需要精密流体控制或样本定位的设备。


    为精密控制而生

    行动元伺服控制是面向先进机器人场景的下一代伺服技术,它跳出了传统 PID 的框架,独创的PIC算法架构融合了物理和动力学建模 + 多模块前馈补偿,通过软件与AI赋能实现动力学建模、模型辨识、多域补偿算法、实时计算能力等综合技术优势,从根源上抑制柔性负载共振、消除低速爬行、大幅削减动态跟踪误差,是高动态高精度的运控控制方案。


(注:文中部分性能数据来源于客户场景下的实测结果,实际应用效果可能因系统配置而异,欢迎垂询获取详细技术资料与选型支持。)


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